Yarı iletken üretim ekipmanı için ısıtma elemanları tedarik ettiğinizde "yeterince iyi" diye bir şey yoktur. Bu, üç yıl önce Japon yarı iletken tedarik zincirine ilk girdiğimizde erken öğrendiğimiz bir ders. Ve Osaka-merkezli bir ekipman üreticisine - verilen bu son - 3.200 ultra-hassas kartuş ısıtıcı siparişi, kalite sistemlerimizin ne kadar ilerlediğinin bir kanıtıdır.
Bu partideki her bir ısıtıcı geçen Cuma günü son denetimden geçti. Ancak bu dönüm noktasını daha anlamlı kılan şey, müşterinin iki kalite mühendisini Osaka'dan buraya kendi-denetimlerini yürütmek üzere uçurmuş olmasıdır. Üretim kayıtlarımızı, test prosedürlerimizi ve temiz oda montaj alanımızı inceleyerek tesisimizde üç tam gün geçirdiler. Rastgele numuneler aldılar, kendi ölçümlerini yaptılar ve hatta üretim personelimizin bazılarıyla eğitimleri ve çalışma talimatları hakkında röportaj yaptılar. Her şeyin sonunda sıfır önemli bulguyla imzayı attılar. Japon yarı iletken istemcilerle bunu başarmak kolay değil.
Bu ısıtıcılar, hassas sıcaklık kontrolünün kesinlikle kritik olduğu levha yapıştırma prosesinde kullanılır. En ufak bir kirlenme veya sıcaklıktaki sapma bile onbinlerce dolar değerindeki bir grup silikon levhanın tamamını mahvedebilir. Yani teknik özellikler son derece sıkıdır: ±0,02 mm çap toleransı, ısıtma bölgesi boyunca ±1 derecelik sıcaklık homojenliği ve vakum koşulları altında kılıf malzemesinden kesinlikle sıfır gaz çıkışı.
Bu gereksinimleri karşılamak için bu ısıtıcıları, her bileşenin montajdan önce temizlendiği ve incelendiği özel bir temiz oda montaj alanında - Sınıf 10,000 - üretiyoruz. Paslanmaz çelik kılıflar ayna görünümüne kadar elektro-parlatılır, ardından birçok kez ultrasonik olarak temizlenir. MgO tozu, doldurulmadan önce nemin giderilmesi için yüksek sıcaklıkta pişirilir. Bu, standart kartuş ısıtıcılarına göre çok daha fazla emek-yoğun bir süreçtir, ancak sonuçlar ortadadır.
Sipariş, uzunlukları 40 mm'den 100 mm'ye kadar değişen ve tamamı 6 mm çapında olan dört farklı konfigürasyona bölünmüştür. Her konfigürasyonun kendi parça numarası ve izlenebilirlik kodu vardır; böylece müşteri her bir ısıtıcının tam olarak ne zaman üretildiğini, hangi hammadde partisinden geldiğini ve kimin monte ettiğini takip edebilir.
